2019年5月12日 / 最終更新日 : 2019年5月12日 xevios 未分類 省スペース型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産] 1チャンバーで異物、有機物、金属汚染が取り除ける多 目的洗浄装置 【装置概要】 各種ウエハサイズ、材質に対応した両面 スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 【用途例】 膜付け前洗浄 エピ後洗浄 エ […]
2019年5月9日 / 最終更新日 : 2019年5月9日 xevios 未分類 キャリア(カセット)・ボックス洗浄装置 【装置概要】 多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間 隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる 各種キャリア(カセット)・ボックスの洗浄 を行う装置 【用途例】 カセット(キャリア)洗浄 ボックス洗浄
