ウェハ・石英・ガラス・サファイア・Sic など各種素材に対応
高圧断続スプレー・ニ流体スプレー・各種ブラシ・ 超音波・薬液等を組合せ
研磨後の粗洗浄から精密洗浄など、各種洗浄工程に対応します。
研究開発用の低価格・コンパクトな手動装置から量産装置まで
目的とご予算に合わてご提案致します。
洗浄プロセスについてもご相談下さい。
1 チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産]
1チャンバーで異物、有機物、金属汚染が取り除ける多 目的洗浄装置
【装置概要】 各種ウエハサイズ、材質に対応した両面 スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置
【用途例】 膜付け前洗浄 エピ後洗浄 エッチング ポリッシュ後洗浄 剥離洗浄
キャリア(カセット)・ボックス洗浄装置
【装置概要】
多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間 隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる 各種キャリア(カセット)・ボックスの洗浄 を行う装置
【用途例】 カセット(キャリア)洗浄 ボックス洗浄
薬液スクラブ洗浄装置
[少量生産対応]
強固着物除去と金属汚染を除去する装置
【装置概要】
ディスクブラシ洗浄、ロールブラシ洗浄に 薬液洗浄を加えた少量生産対応の装置
【用途例】 膜付け前洗浄
両面スクラブ洗浄装置
[量産対応]
ワークの表裏面に触れずに表裏面と端面洗浄する装置
【装置概要】
研磨後のウエハを界面活性剤、純水スクラ ブで除去後、メガソニックシャワー、リンス、スピン乾燥の順で行う枚葉洗浄装置
【用途例】 研磨後洗浄
ダイレクトパルスクリーナー
[高圧断続スプレー]
強固着物除去と金属汚染を除去する装置
【装置概要】
10MPaの高圧水の断続スプレーユニット。1秒間に最大30回のON/OFF制御が可能。連続流と比較して約1／3の水で繰り返しパーティクルに衝撃を加えます。
【用途例】 研磨後洗浄
