1 チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産]
1チャンバーで異物、有機物、金属汚染が取り除ける多 目的洗浄装置
【装置概要】 各種ウエハサイズ、材質に対応した両面 スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置
【用途例】 膜付け前洗浄 エピ後洗浄 エッチング ポリッシュ後洗浄 剥離洗浄

キャリア(カセット)・ボックス洗浄装置
【装置概要】
多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間 隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる 各種キャリア(カセット)・ボックスの洗浄 を行う装置
【用途例】 カセット(キャリア)洗浄 ボックス洗浄

薬液スクラブ洗浄装置
[少量生産対応]
強固着物除去と金属汚染を除去する装置
【装置概要】
ディスクブラシ洗浄、ロールブラシ洗浄に 薬液洗浄を加えた少量生産対応の装置
【用途例】 膜付け前洗浄

両面スクラブ洗浄装置
[量産対応]
ワークの表裏面に触れずに表裏面と端面洗浄する装置
【装置概要】
研磨後のウエハを界面活性剤、純水スクラ ブで除去後、メガソニックシャワー、リンス、スピン乾燥の順で行う枚葉洗浄装置
【用途例】 研磨後洗浄

ダイレクトパルスクリーナー
[高圧断続スプレー]
強固着物除去と金属汚染を除去する装置
【装置概要】
10MPaの高圧水の断続スプレーユニット。1秒間に最大30回のON/OFF制御が可能。連続流と比較して約1/3の水で繰り返しパーティクルに衝撃を加えます。
【用途例】 研磨後洗浄

スペーサ・粒子 散布装置
[微粒子・ナノ粒子対応]
摩擦帯電を応用したオリジナルのドライ散布装置
【装置概要】
固定式ノズル・帯電フィードバック・高電圧制御による高効率スペーサ散布装置。
研究開発向けの手動タイプ卓上散布装置から、G8.5等の大型ガラス基板に対応した量産ライン向け全自動スペーサ散布装置まで対応。
【用途例】 各種 微粒子の分散・ナノ粒子の散布・スペーサ散布

ラインイオナイザー
[線状対面方式のイオナイザー]
ガラス管封入式のオリジナルのラインイオナイザー
【装置概要】
電極をガラス管に封入したオリジナルのラインイオナイザー
周波数・電圧の調整機構により使用環境に合わせた調整が可能です。
【用途例】 液晶・半導体・フィルム関係の各種工程
