1 チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産]

1チャンバーで異物、有機物、金属汚染が取り除ける多 目的洗浄装置

【装置概要】 各種ウエハサイズ、材質に対応した両面 スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置

【用途例】 膜付け前洗浄 エピ後洗浄 エッチング ポリッシュ後洗浄 剥離洗浄

キャリア(カセット)・ボックス洗浄装置

【装置概要】

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間 隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる 各種キャリア(カセット)・ボックスの洗浄 を行う装置

【用途例】 カセット(キャリア)洗浄 ボックス洗浄

薬液スクラブ洗浄装置

[少量生産対応]

強固着物除去と金属汚染を除去する装置

【装置概要】

ディスクブラシ洗浄、ロールブラシ洗浄に 薬液洗浄を加えた少量生産対応の装置

【用途例】 膜付け前洗浄

両面スクラブ洗浄装置

[量産対応]

ワークの表裏面に触れずに表裏面と端面洗浄する装置

【装置概要】

研磨後のウエハを界面活性剤、純水スクラ ブで除去後、メガソニックシャワー、リンス、スピン乾燥の順で行う枚葉洗浄装置

【用途例】 研磨後洗浄

ダイレクトパルスクリーナー

[高圧断続スプレー]

強固着物除去と金属汚染を除去する装置

【装置概要】

10MPaの高圧水の断続スプレーユニット。1秒間に最大30回のON/OFF制御が可能。連続流と比較して約1／3の水で繰り返しパーティクルに衝撃を加えます。

【用途例】 研磨後洗浄

スペーサ・粒子　散布装置

[微粒子・ナノ粒子対応]

摩擦帯電を応用したオリジナルのドライ散布装置

【装置概要】

固定式ノズル・帯電フィードバック・高電圧制御による高効率スペーサ散布装置。

研究開発向けの手動タイプ卓上散布装置から、G8.5等の大型ガラス基板に対応した量産ライン向け全自動スペーサ散布装置まで対応。

【用途例】 各種　微粒子の分散・ナノ粒子の散布・スペーサ散布

ラインイオナイザー

[線状対面方式のイオナイザー]

ガラス管封入式のオリジナルのラインイオナイザー

【装置概要】

電極をガラス管に封入したオリジナルのラインイオナイザー

周波数・電圧の調整機構により使用環境に合わせた調整が可能です。

【用途例】 液晶・半導体・フィルム関係の各種工程