装置概要
本装置は、Siナゲットの洗浄を目的とした装置です。ワーク（Siナゲット）の入ったコンテナは本装置で専用の洗浄バスケットに移し替えられ、洗浄設備内に自動搬送されます。
その後、バスケットは化学研磨・酸切・高品位水洗の処理を通しワークは洗浄されます。このとき、洗浄バスケットを揺動して洗浄効率を向上しています。
洗浄後は乾燥専用バスケットに移され、１５０℃の温風で予備乾燥されます。
主な仕様
1.被洗浄物： Siナゲット
2.処理方法： 水洗⇒薬液洗浄⇒リンス⇒予備乾燥
3.搬送方法： 搬送ロボットによる自動搬送
4.使用薬液： フッ酸、硝酸
