研磨装置

端面鏡面加工装置

各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 【装置概要】 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置 【用途例】 鏡面仕上げ加工　鏡面仕上げ加工　端面異物洗浄