省スペース型スクラブ・スピン洗浄装置

[研究開発/少量生産]

1チャンバーで異物、有機物、金属汚染が取り除ける多 目的洗浄装置

【装置概要】 各種ウエハサイズ、材質に対応した両面 スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置

【用途例】 膜付け前洗浄 エピ後洗浄 エッチング ポリッシュ後洗浄 剥離洗浄