洗浄装置 1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 xevios 2022年12月8日 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 Contents1 装置概要2 用途例 装置概要 ブラシ洗浄とスピン乾燥が一体になった省スペース型 ウエハ表裏面と端面の同時ブラシ洗浄が可能 少量生産、研究開発向け 用途例 膜付け前洗浄 エピ後洗浄 エッチング ポリッシュ後洗浄 剥離洗浄 ブラシ 洗浄 省スペース