端面鏡面加工装置

各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置

装置概要

• 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置

用途例

• 鏡面仕上げ加工
• 鏡面仕上げ加工
• 端面異物洗浄

対象物

• 薄い材料150～200μに最適
• 各種ウェハ：化合物、酸化物、ガラス、石英、シリコン、セラミック

対応

• 実機での評価・確認後に装置採用のご検討をお願いします。
• オリフラ対応(Vノッチは出来ません)
• 自動化・仕様打合せによる特注設計製作に対応します。