洗浄装置 端面鏡面加工装置 xevios 2023年5月13日 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置 用途例 鏡面仕上げ加工 鏡面仕上げ加工 端面異物洗浄 対象物 薄い材料150～200μに最適 各種ウェハ：化合物、酸化物、ガラス、石英、シリコン、セラミック 対応 実機での評価・確認後に装置採用のご検討をお願いします。 オリフラ対応(Vノッチは出来ません) 自動化・仕様打合せによる特注設計製作に対応します。 GaN SiC ウェハ サファイア パワー半導体 ブラシ 洗浄 省スペース 石英 研磨
