量産対応スペーサー散布装置

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スペーサー散布装置 XDS

液晶パネルや調光ガラス・スマートガラスのプロセスに対応した、乾式スペーサ散布装置。

スペーサ以外の粒子や、10μm以上のスペーサー、1μ以下の粒子の散布などもご相談ください。

研究開発用の卓上型手動散布機から、G6以上の大型基板向けのインライン型全自動散布装置まで、クラスタークリーナー・検査装置他、周辺装置を含めて対応します。