洗浄装置 1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 2023年5月13日 xevios XEVIOS CORPORATION 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 ブラシ洗浄とスピン乾燥が一体になった省スペース型 ウエハ表裏面と端面の同時ブラ …
洗浄装置 薬液スクラブ洗浄装置 2022年12月8日 xevios XEVIOS CORPORATION 強固着物除去と金属汚染を除去 装置概要 ディスクブラシ洗浄、ロールブラシ洗浄に薬液洗浄を加えた少量生産対応の装置強固な汚れを特殊ブラシで落とします。 酸、アルカリ …
洗浄装置 端面鏡面加工装置 2022年12月8日 xevios XEVIOS CORPORATION 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置 用途例 …
洗浄装置 省スペース型スクラブ・スピン洗浄装置 2019年5月12日 xevios XEVIOS CORPORATION [研究開発/少量生産] 1チャンバーで異物、有機物、金属汚染が取り除ける多 目的洗浄装置 【装置概要】 各種ウエハサイズ、材質に対応した両面 スクラ …
