洗浄装置 1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 2023年5月13日 xevios XEVIOS CORPORATION 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 ブラシ洗浄とスピン乾燥が一体になった省スペース型 ウエハ表裏面と端面の同時ブラ …
洗浄装置 300ｍｍカセットレス洗浄装置（ミラーウェハ） 2023年1月14日 xevios XEVIOS CORPORATION 装置概要 本装置はファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用する装置です。特徴は25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一 …
洗浄装置 端面鏡面加工装置 2022年12月8日 xevios XEVIOS CORPORATION 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置 用途例 …
洗浄装置 高圧パルスジェット DP-Gun 2022年12月8日 xevios XEVIOS CORPORATION 最大10MPaの高圧水を30Hzで断続的にスプレーする高圧断続スプレー 装置概要 既存の洗浄装置に追加可能な洗浄ノズルユニット 水の使用量が少ないため対象 …
