洗浄装置 1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 2023年5月13日 xevios XEVIOS CORPORATION 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 ブラシ洗浄とスピン乾燥が一体になった省スペース型 ウエハ表裏面と端面の同時ブラ …
洗浄装置 端面鏡面加工装置 2022年12月8日 xevios XEVIOS CORPORATION 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置 用途例 …
