洗浄装置 省スペース型スクラブ・スピン洗浄装置 2019年5月12日 xevios XEVIOS CORPORATION [研究開発/少量生産] 1チャンバーで異物、有機物、金属汚染が取り除ける多 目的洗浄装置 【装置概要】 各種ウエハサイズ、材質に対応した両面 スクラ …
洗浄装置 キャリア(カセット)・ボックス洗浄装置 2019年5月9日 xevios XEVIOS CORPORATION 【装置概要】 多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間 隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる 各種キャリア(カセット)・ボックスの洗浄 を行 …
洗浄装置 1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 2023年5月13日 xevios XEVIOS CORPORATION 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 ブラシ洗浄とスピン乾燥が一体になった省スペース型 ウエハ表裏面と端面の同時ブラ …
洗浄装置 精密部品洗浄装置（脱脂） 2023年1月14日 xevios XEVIOS CORPORATION 装置概要 本装置はHDD用モーター部品（HUB・ケース等）を脱脂洗浄する装置です。 構成：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥 用途に合わせ製作致し …
洗浄装置 Siナゲット洗浄装置 2023年1月14日 xevios XEVIOS CORPORATION 装置概要 本装置は、Siナゲットの洗浄を目的とした装置です。ワーク（Siナゲット）の入ったコンテナは本装置で専用の洗浄バスケットに移し替えられ、洗浄設備内に自動搬送されます。 …
洗浄装置 300ｍｍカセットレス洗浄装置（ミラーウェハ） 2023年1月14日 xevios XEVIOS CORPORATION 装置概要 本装置はファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用する装置です。特徴は25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一 …
洗浄装置 薬液スクラブ洗浄装置 2022年12月8日 xevios XEVIOS CORPORATION 強固着物除去と金属汚染を除去 装置概要 ディスクブラシ洗浄、ロールブラシ洗浄に薬液洗浄を加えた少量生産対応の装置強固な汚れを特殊ブラシで落とします。 酸、アルカリ …
洗浄装置 端面鏡面加工装置 2022年12月8日 xevios XEVIOS CORPORATION 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置 用途例 …
洗浄装置 高圧パルスジェット DP-Gun 2022年12月8日 xevios XEVIOS CORPORATION 最大10MPaの高圧水を30Hzで断続的にスプレーする高圧断続スプレー 装置概要 既存の洗浄装置に追加可能な洗浄ノズルユニット 水の使用量が少ないため対象 …
洗浄装置 省スペース型スクラブ・スピン洗浄装置 2019年5月12日 xevios XEVIOS CORPORATION [研究開発/少量生産] 1チャンバーで異物、有機物、金属汚染が取り除ける多 目的洗浄装置 【装置概要】 各種ウエハサイズ、材質に対応した両面 スクラ …
洗浄装置 キャリア(カセット)・ボックス洗浄装置 2019年5月9日 xevios XEVIOS CORPORATION 【装置概要】 多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間 隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる 各種キャリア(カセット)・ボックスの洗浄 を行 …
散布装置 卓上型手動散布装置 2023年1月15日 xevios XEVIOS CORPORATION glt language="Japanese" label="Japanese" image="yes" text="yes" image_size="24"] 手動散布装置 …
散布装置 半自動スペーサー散布装置 2023年1月15日 xevios XEVIOS CORPORATION 卓上型散布装置 δ-1 様々な種類の粒子を散布可能な研究開発・省ロット生産向けの微粒子散布装置 散布時の帯電量を元にしたフィードバック制御により、散布量の制御を行い …
散布装置 量産対応スペーサー散布装置 2023年1月15日 xevios XEVIOS CORPORATION スペーサー散布装置 XDS 液晶パネルや調光ガラス・スマートガラスのプロセスに対応した、乾式スペーサ散布装置。 スペーサ以外の粒子や、10μm以上のスペーサー、1μ …
洗浄装置 端面鏡面加工装置 2022年12月8日 xevios XEVIOS CORPORATION 各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 装置概要 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置 用途例 …
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